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散英魂寄千萬雄鷹翱翔神州，

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

——《國務(wù)院給予江上舟同志挽聯(lián)》

前沿導(dǎo)讀

在美國知名平臺Quora當(dāng)中，有美國網(wǎng)友發(fā)問，在沒有美國技術(shù)允許的前提下，為什么中國企業(yè)敢研發(fā)DUV光刻機？

該問題在平臺當(dāng)中引起了劇烈討論，在各方網(wǎng)友的爭論下，很多網(wǎng)友都認(rèn)為中國企業(yè)是在被美國制裁的封鎖下，被逼無奈才選擇進(jìn)行自主技術(shù)設(shè)備的研發(fā)。并且美國通過這種制裁壓制的手段，為自己塑造了一個“可怕”的競爭對手。

對華限制

在多年前，中芯國際曾花費了巨額資金從ASML采購了EUV光刻機，但是由于美國的制裁封鎖，該設(shè)備最終并沒有交付給中國企業(yè)。到了2023年，限制措施繼續(xù)升級，美國對荷蘭政府施壓，禁止ASML出口給中國企業(yè)先進(jìn)的浸潤式DUV光刻機。

在EUV設(shè)備與浸潤式DUV設(shè)備的雙重限制下，中國芯片的制造業(yè)陷入了瓶頸，無法制造出7nm工藝的先進(jìn)芯片。

2024年，美國政府向荷蘭、德國、韓國、日本等國家的芯片企業(yè)施壓，禁止相關(guān)企業(yè)跟中國市場合作，禁止其向中國企業(yè)出口制造設(shè)備。

與此同時，在美國政府的持續(xù)壓制下，荷蘭政府對ASML公司進(jìn)行的限制，禁止其為中國客戶維修、維護光刻機設(shè)備，這導(dǎo)致了中國企業(yè)曾經(jīng)采購的大約1400臺芯片制造設(shè)備陷入無售后的中斷風(fēng)險。

該限制措施，不但影響了中國企業(yè)使用設(shè)備的合法權(quán)益，而且還對ASML的在華業(yè)務(wù)造成了嚴(yán)重的負(fù)面影響。根據(jù)環(huán)球網(wǎng)相關(guān)報道顯示，ASML有將近50%的銷售額，均來自于中國市場。

美國試圖通過對荷蘭政府施壓，禁止ASML給中國客戶提供設(shè)備的零部件更換以及相關(guān)的技術(shù)支持，以此來在耗材斷供上面逐步癱瘓中國的制造設(shè)備。荷蘭的首相迪克·肖夫稱，這一決定是“平衡國家安全與商業(yè)利益的必要措施?！?/p>

2025年，美國的新制裁措施來襲，禁止臺積電、三星等晶圓制造企業(yè)向中國市場出口超過300億晶體管數(shù)量的成熟芯片，并且同時對日本、荷蘭等芯片制造商施壓，禁止其向中國企業(yè)提供芯片制造所需的材料，以及低端的老舊制造設(shè)備。

ASML公司的首席CEO彼得·溫寧克曾經(jīng)對美國的這種做法提出質(zhì)疑，認(rèn)為其混淆了國家安全與貿(mào)易政策的邊界。雖然美國通過制裁措施，成功的壓制了中國企業(yè)在先進(jìn)芯片技術(shù)上面的研發(fā)，但是這種方法會導(dǎo)致中國企業(yè)開發(fā)出自主的制造設(shè)備，從而替代海外的產(chǎn)品。

發(fā)展自主技術(shù)

對于美國的這種對華制裁，有美國的評論家表示：

中國企業(yè)如今已經(jīng)取得了技術(shù)突破，而且中國市場是世界上最大的芯片用戶市場，中國企業(yè)已經(jīng)掌握了7nm芯片的制造技術(shù)，所以在芯片制造領(lǐng)域，中國企業(yè)已經(jīng)解決了技術(shù)困境。美國這種做法簡直是搬起石頭砸自己的腳，讓美國企業(yè)最大的客戶市場成為了最大的競爭對手，我不明白美國到底是怎么想的。

根據(jù)浸潤式光刻技術(shù)的發(fā)明人——林本堅在所著書籍《光刻技術(shù)》當(dāng)中的內(nèi)容表示，使用浸潤式的DUV光刻設(shè)備制造先進(jìn)芯片，在技術(shù)上面是完全可行的，需要通過多重曝光和自對準(zhǔn)多重圖案化技術(shù)來實現(xiàn)，但是在成本、良品率、能效上面是個極大的問題。

而中國的芯片企業(yè)，就是通過以上技術(shù)方案，成功實現(xiàn)了7nm芯片的制造。

在此之前，用這種技術(shù)方案制造先進(jìn)芯片成功的企業(yè)有兩家，一個是英特爾，一個是臺積電。但是英特爾投入了大量資源后，無法解決良品率過低的原因，于是英特爾放棄了這個方案，轉(zhuǎn)向了EUV技術(shù)。而臺積電則成功的解決了量產(chǎn)和能效的問題，并且給華為制造出了麒麟990 4G芯片。

現(xiàn)如今，中國大陸企業(yè)是繼臺積電之后，第二家用DUV設(shè)備制造7nm芯片并且成功實現(xiàn)了量產(chǎn)的企業(yè)。

并且在自主設(shè)備上面，中國的各大高校以及科研院均在許多年前開始了技術(shù)儲備。北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、盛美半導(dǎo)體等領(lǐng)頭的制造設(shè)備企業(yè)，在刻蝕機、清洗機、薄膜沉積設(shè)備等多個產(chǎn)品領(lǐng)域，均開發(fā)出了自主可控的芯片制造設(shè)備，已經(jīng)在長電科技的生產(chǎn)線當(dāng)中進(jìn)行了技術(shù)驗證。

在光刻機產(chǎn)品上面，中國企業(yè)已經(jīng)完成了干式光刻機的全域開發(fā)，并且投入了市場使用，浸潤式和EUV技術(shù)也在穩(wěn)步的推進(jìn)當(dāng)中。

對于外國平臺質(zhì)疑中國芯片技術(shù)的情況，我國的網(wǎng)友在國外平臺回復(fù)到：