中國光刻機或不官宣,ASML高管扯下“遮羞布”,中國企業(yè)沉默一片
中國EUV光刻機這潭水,現(xiàn)在渾得能養(yǎng)魚——明明實驗室里技術突破的消息滿天飛,可市場上ASML的設備照樣賣得風生水起;天天喊著要打破壟斷,結(jié)果連臺工程樣機都沒見著。
這種詭異局面最近被ASML高管一記直球徹底打碎:人家財報會上輕飄飄一句“中國仍需多年才能造出先進設備”,直接讓國內(nèi)企業(yè)集體失聲。

這場面就像武俠小說里高手過招,對手都亮劍了,咱們這邊連劍鞘都沒拔出來。
要說中國企業(yè)沒動靜那真是冤枉,光看專利數(shù)據(jù)庫都能閃瞎眼。
上海微電子那個電場約束+氫自由基反應技術,硬是把鏡面污染降了九成,鏡片壽命拉到1000小時,這數(shù)據(jù)跟ASML掰手腕都夠格了。
哈爾濱工業(yè)大學更絕,搞出放電等離子體光源,能量轉(zhuǎn)換效率直接翻倍,體積還縮小40%。
可這些實驗室里的成績單,愣是沒轉(zhuǎn)化成能擺在臺面上的設備。
這就好比學霸考試次次滿分,真到高考那天卻交白卷——你說沒貓膩誰信?
項立剛那套“悶聲發(fā)大財”的理論,乍聽挺唬人。

按他的說法,咱們早就能造5nm芯片,藏著掖著是怕洋人使絆子。
可看看ASML最新財報就露餡了——第一季度中國客戶貢獻了40%的韓國區(qū)銷售額,光刻機訂單排到姥姥家去了。
要真像項專家說的有國產(chǎn)替代設備,中芯國際犯得著花重金買ASML的二手DUV嗎?這就好比自家有滿漢全席不吃,非要組團去搶隔壁的泡面,邏輯上根本說不通。
ASML高管這次算是把窗戶紙捅破了。
人家說中國需要“很多年”才能造出EUV,可不是信口開河。

看看他們的底氣來源:High-NA EUV光刻機今年就要量產(chǎn),數(shù)值孔徑飆到0.55,分辨率直接碾壓現(xiàn)有設備。
反觀咱們,長春光機所的投影物鏡波像差剛壓到0.75nm,清華大學的雙工件臺精度卡在28nm,離商用還差著十萬八千里。
這就好比別人在造航天飛機,咱們還在折騰四驅(qū)車,差距肉眼可見。
但要說中國企業(yè)完全躺平也不客觀。
新凱來這家成立才三年的公司,愣是把刻蝕機干到7nm,薄膜沉積設備直接對標3nm節(jié)點。
華為更絕,反射式物鏡專利把波前畸變壓到λ/50,這水平放國際上都是頂尖。

可問題在于,這些單點突破就像散落的珍珠,始終串不成項鏈。
ASML光刻機10萬個零件來自5000家供應商,咱們連高純度氟化鈣晶體都要進口,這產(chǎn)業(yè)鏈的坑可不是砸錢就能填平的。
沉默背后的真相可能比想象中更殘酷。
ASML敢放話“中國市場需求依舊強勁”,是因為他們吃準了咱們的軟肋——上海微電子的28nm DUV國產(chǎn)化率剛過九成,EUV樣機光源功率還在250瓦門檻打轉(zhuǎn)。
這就形成個死循環(huán):晶圓廠不敢用國產(chǎn)設備怕影響良率,設備商沒有量產(chǎn)數(shù)據(jù)難改進技術。
看看長江存儲的遭遇就知道,當年被美國制裁直接斷供,現(xiàn)在寧可多花錢也要買ASML的保險單。

不過要說完全沒希望也太過悲觀。
中科院搞的電子束直寫精度都到3nm了,雖說速度只有EUV的萬分之一,但在量子芯片這類特殊領域說不定能彎道超車。
還有那個自由電子激光路線,上海光源的小型化裝置都輸出了250W功率,工業(yè)應用的基礎算是打牢了。
這些技術現(xiàn)在看著像天方夜譚,可誰能保證十年后不會殺出個程咬金?當年盾構(gòu)機、高鐵不也都是從笑話變成神話的?
這場光刻機博弈最諷刺的在于,雙方都在“揣著明白裝糊涂”。
ASML明知道中國在瘋狂追趕,嘴上說著不怕心里慌得要死,要不怎么會急著在中國設維修中心?國內(nèi)企業(yè)清楚知道差距,可既要給資本市場畫大餅,又得防著技術泄露,只能玩“只做不說”的曖昧游戲。

這種微妙的平衡就像走鋼絲,稍有不慎就會摔得粉身碎骨。
說到底,光刻機這玩意從來就不是單純的技術問題。
ASML能壟斷EUV,靠的是整合蔡司的鏡頭、Cymer的光源、imec的工藝這套生態(tài)體系,這可不是砸?guī)装賰|就能復制的。
咱們現(xiàn)在最缺的不是某個技術參數(shù),而是能把哈工大光源、華為物鏡、中科院工件臺擰成一股繩的系統(tǒng)集成能力。
什么時候能把實驗室里的黑科技變成工廠里的流水線,什么時候才有底氣官宣——畢竟能下蛋的母雞才不怕被人圍觀。

所以別指望近期能看到國產(chǎn)EUV光刻機的官宣,這不是藏著掖著,是真沒到掀牌的時候。
但也沒必要妄自菲薄,看看韓國三星被日本斷供光刻膠后的慘狀,就知道全產(chǎn)業(yè)鏈自主有多重要。
ASML現(xiàn)在越囂張,反而越證明咱們走在正確的路上——當年兩彈一星不也是在封鎖中憋出來的大招?這場沉默的較量,注定要比誰熬得住、挺得久。
至于官宣與否,等哪天中芯國際產(chǎn)線上突然冒出國產(chǎn)EUV,就是最響亮的回答。
作者聲明:內(nèi)容由AI生成
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