散英魂寄千萬雄鷹翱翔神州，
盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。
——《國務院給予江上舟同志挽聯(lián)》
01
前沿導讀
半導體行業(yè)觀察者、荷蘭科技領域?qū)I(yè)記者馬克·海金克，在多年前就已經(jīng)開始針對ASML以及全球的光刻機產(chǎn)業(yè)進行深度的跟蹤報道。
他將ASML近40多年的技術發(fā)展進行了總結提煉，并且借助當下中美兩國在芯片技術上面的激烈博弈，公開對芯片產(chǎn)業(yè)以及光刻機產(chǎn)品發(fā)表了權威看法。
02
未雨綢繆
荷蘭的ASML，最開始只是飛利浦公司的一個分支部門，涉及半導體設備的研發(fā)。后來飛利浦公司將其獨立出來，與ASM公司進行了合并，成立了ASML公司，專門負責光刻機產(chǎn)品的技術研發(fā)。
在ASML沒有發(fā)展起來之前，國際光刻機的霸主是美國的GCA，日本尼康是GCA光刻機鏡頭的供應商。但是后來美國GCA打算發(fā)展全自研的光刻機設備，于是便將尼康從供應商的名單當中去除。
尼康意識到了問題的嚴重性，便通過日本的其他產(chǎn)業(yè)鏈公司購買了一臺美國GCA研發(fā)的光刻機產(chǎn)品，通過逆向工程將光刻機設備的制造工藝推導出來，從而開發(fā)出了尼康自主的光刻機產(chǎn)品。
在后來的競爭當中，日本尼康的光刻機產(chǎn)品獲得了市場的青睞，而美國的光刻機產(chǎn)品開始淡出市場。隨著美國跟日本在半導體產(chǎn)業(yè)上面的競爭，日本尼康公司被美國視為眼中釘，想要將尼康打落神壇。
荷蘭的ASML成為了美國大力看重的企業(yè)，并且在英特爾和美國政府的推動下，成立EUV LLC技術聯(lián)盟，集合頂級的科研機構研發(fā)EUV光刻技術，ASML成為了技術聯(lián)盟中最后一個環(huán)節(jié)的設備制造商。
在開發(fā)EUV光刻機的過程中，英特爾、臺積電、三星等巨頭芯片企業(yè)大量給ASML注資，這種既是客戶又是股東的利益綁定，將ASML推到了一個其他企業(yè)無法企及的高度，其年度研發(fā)資金高達32億歐元以上。
在EUV光刻機研發(fā)完成，并且投入市場使用之后，全球芯片產(chǎn)業(yè)迎來了快速發(fā)展階段。與此同時，中國芯片企業(yè)對于光刻機的需求大量增加，而美國也開始了針對中國企業(yè)的制裁方案。
美國最開始對荷蘭政府施壓，禁止其允許ASML向中國出口EUV光刻機設備，而老舊的DUV設備不受影響。
在無法獲得EUV光刻機的情況下，中國芯片企業(yè)開始大量采購ASML的DUV光刻機。
據(jù)海金克的深入調(diào)查表示，中國總共擁有800多臺來自于ASML的進口光刻機產(chǎn)品。這些設備有一半掌握在中國芯片企業(yè)的手中，并且絕大部分都在中芯國際旗下的晶圓廠中。另外一半則是被三星、海力士、臺積電的工廠所買走。
在全球芯片產(chǎn)業(yè)穩(wěn)步發(fā)展的過程中，中國市場卻開始源源不斷的大量囤積進口光刻機，這引起了美國政府的高度警覺。
03
儲備攻堅力量
據(jù)ASML前CEO彼得·溫寧克表示，美國對ASML的出口限制，并不會影響其公司的正常運轉(zhuǎn)，畢竟不能跟中國大陸市場做生意，不代表不可以跟其他地方做生意。
但是中國芯片企業(yè)有著其他企業(yè)沒有的韌性和堅毅性，并且中國企業(yè)一定會先開始攻克老舊的DUV工藝設備，然后再發(fā)展先進的EUV技術設備。
ASML的首席技術官馬丁·范登布林克，在2018年至2019年期間來到了中國，跟中國的芯片企業(yè)進行技術訪問。
馬丁也來到了中國唯一光刻機的制造商上海微電子公司進行訪問，畢竟上海微電子公司與ASML是同行，馬丁想要了解中國光刻機產(chǎn)業(yè)目前面臨的困難，以及中國企業(yè)所掌握的技術方法。
雖然上海微電子的設備產(chǎn)品并不太吸引馬丁，因為這些產(chǎn)品如果放在馬丁的ASML公司，只能算是被淘汰的技術，但是馬丁依然被中國企業(yè)清晰的發(fā)展思路、不斷攻克難題的韌性所震撼。
馬丁在后來的專訪中表示，雖然上海微電子的設備被卡在了90nm技術上，但是中國企業(yè)在研究更好的技術，比如28nm的浸潤式系統(tǒng)，只不過這種技術的研發(fā)難度較大，中國企業(yè)需要付出更多的努力。
但是美國的制裁可以算作一個決定性因素，既然阻止了中國企業(yè)采購進口光刻機，那么中國企業(yè)會選擇使用上海微電子的設備，這給了上海微電子公司極大的市場支持，依靠這個支持力度，中國企業(yè)會不斷優(yōu)化自己的產(chǎn)品，從而順理成章的突破曾經(jīng)的技術瓶頸。
而那些曾經(jīng)采購的進口光刻機，也被中國企業(yè)高效率的利用了起來。
2022年，中芯國際開始使用曾經(jīng)從ASML進口的DUV光刻機設備制造等效7nm的芯片。
2023年，華為推出了采用中芯國際7nm技術制造的5G芯片手機。
2024年，在意識到了中國企業(yè)的意圖之后，美國政府再次強制性的對荷蘭政府以及ASML公司進行干預，攔截了所有ASML出口給中國市場的DUV光刻機訂單，荷蘭政府被迫撤銷了幾項ASML對華出口許可。
中國企業(yè)在自主設備和進口設備上面雙線發(fā)展，并且均取得了不錯的成績。
資深半導體觀察員馬克·海金克，曾公開對中國芯片產(chǎn)業(yè)進行了評價：中國的科技發(fā)展常常以一種難以預測，但是卻極具創(chuàng)造力的方式進行創(chuàng)新。
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