在2019年的時(shí)候，伴隨著特朗普對(duì)我國企業(yè)展開芯片封鎖行動(dòng)，一時(shí)間讓全球市場都變得風(fēng)聲鶴唳，同時(shí)EUV光刻機(jī)這個(gè)“深藏”半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈背后的“大家伙”也被媒體推上了臺(tái)前。
一時(shí)之間，EUV光刻機(jī)被推上“神壇”，坊間普遍認(rèn)為，“只要國產(chǎn)EUV光刻機(jī)突破，我們所面對(duì)的芯片封鎖將瞬間瓦解”，這個(gè)理解，對(duì)也不對(duì)，不對(duì)是因?yàn)椋?strong>半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)禽^為冗長的，不是單單某一個(gè)設(shè)備國產(chǎn)化就可以實(shí)現(xiàn)破局的，其中包含的上下游產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)眾多。
說對(duì)是因?yàn)?，在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，難度最大的目前來說就是EUV光刻機(jī)了，畢竟，通過過去6年的實(shí)踐我們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，無論是上游的指令集架構(gòu)、EDA軟件還是下游的刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等，其實(shí)我們想要突破，并不難，反而是EUV光刻機(jī)遲遲因?yàn)榧夹g(shù)問題卡殼。
而2020年時(shí)任ASML CEO的Peter Wennink 稱：“中國不可能獨(dú)立復(fù)制我們的技術(shù)，因?yàn)樯婕皵?shù)萬項(xiàng)專利和全球供應(yīng)鏈協(xié)作。”西方媒體更是不斷渲染，“中國無法自主突破”的假消息。
這些說法和內(nèi)容，讓當(dāng)時(shí)的大眾如鯁在喉，所以，當(dāng)時(shí)中科院白春禮院士也是提出將光刻機(jī)技術(shù)放在了技術(shù)攻克的最高優(yōu)先級(jí)。
所以，在過去幾年里，我們?cè)趪a(chǎn)EUV光刻機(jī)的突破中，投入了大量的人力物力，同時(shí)也取得了很大的成績，例如2024年底，哈工大方面?zhèn)鱽淼耐ㄟ^高壓電極放電產(chǎn)生錫（Sn）等離子體，釋放EUV光子的技術(shù)，清華大學(xué)基于同步輻射原理，通過電子束周期性微聚束產(chǎn)生相干EUV光。
但是，真正讓歐美感到壓力山大的突破似乎來自于2025年4月29日，中科院方面?zhèn)鱽淼囊粍t消息，因?yàn)椤吨袊す狻冯s質(zhì)在今年第六期刊登了一篇研究論文稱，中國研究人員已經(jīng)建立了一個(gè)運(yùn)行參數(shù)具有國際競爭力的EUV光源實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。
香港《南華早報(bào)》更是對(duì)此報(bào)道時(shí)則認(rèn)為，中方這一研究成果“突破了自主生產(chǎn)先進(jìn)芯片的障礙”。
那么，這次的突破到底為什么會(huì)引起媒體如此大的反響呢？首先，需要知道的是，在整個(gè)EUV光刻機(jī)系統(tǒng)中，最困難的技術(shù)就是EUV光源，所以，攻克了光源基本上就算是拿下了EUV光刻機(jī)一大半的技術(shù)了。
而這一次中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所林楠團(tuán)隊(duì)成功開發(fā)了LPP-EUV光源，是利用固體激光驅(qū)動(dòng)LPP-EUV光刻光源，該技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于和ASML采用了完全不同的技術(shù)解決方案，完全繞過了ASML的專利，并且轉(zhuǎn)換效率比ASML更高，與現(xiàn)有的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的兼容性也是最強(qiáng)的。
這意味著什么呢？意味著完全不需要開辟新的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈來適應(yīng)國產(chǎn)EUV光刻機(jī)的突破。大大提升了國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的破局速度。
而伴隨著我們的突破，最大輸家也要出現(xiàn)了，而這個(gè)最大輸家就是德國通快，因?yàn)楫?dāng)下ASML公司的EUV光源就是該公司供應(yīng)的，未來當(dāng)我國的EUV光源技術(shù)落地，ASML無疑要面對(duì)新的光源方案選擇，畢竟一直以來凡是我國突破的技術(shù)，都會(huì)對(duì)整個(gè)市場進(jìn)行重新洗牌。
而除了德國通快以外，日本的佳能、尼康，臺(tái)灣臺(tái)積電，韓國三星電子，美國高通、英特爾等都將成為輸家，因?yàn)椋瑖a(chǎn)EUV光刻機(jī)的突破，帶來的將是全球芯片產(chǎn)業(yè)鏈的重構(gòu)與“東遷”，歐美在半導(dǎo)體領(lǐng)域的壟斷時(shí)代將徹底被打碎。這也將直戳美國命門。
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