美國越是打壓，就越倒逼中國自主創(chuàng)新，如今這句話再次應(yīng)驗，中國EUV光刻機技術(shù)取得重大突破，國產(chǎn)高端芯片被美國卡脖子的歷史，有望即將翻篇。
近50年來，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中心發(fā)生了數(shù)次遷移，從美國到日本，再從日本到韓國，如今，已不可避免的在向中國轉(zhuǎn)移。
那么中國在EUV光刻機領(lǐng)域到底取得了怎樣的突破？這對我國來說又有什么意義？
美國霸權(quán)-圍堵中國芯
從中美貿(mào)易戰(zhàn)開始以來，美國不止在貿(mào)易上屢下狠手，在芯片領(lǐng)域同如此，他們甚至試圖全面扼殺中國的芯片行業(yè)。
早在特朗普第一任期時，這場芯片戰(zhàn)就已經(jīng)初見規(guī)模，等到拜登上臺后，更是全方位升級。
為了能夠徹底遏制中國芯片發(fā)展，美國不光強力約束本土企業(yè)，還同時聯(lián)合一眾盟友，迫使他們收緊對華出口。
更關(guān)鍵的是，美國還在芯片的上游產(chǎn)業(yè)鏈下手，禁止光刻機以及生產(chǎn)芯片的原材料進入中國，比如說荷蘭的ASML，這家全球光刻機龍頭企業(yè)，在美國的施壓下，宣布不再向中國出售光刻機。
至于為什么要打這場芯片展，美國給出的理由也非常奇葩，曾經(jīng)有一家美國智庫表示，中國一直都在竊取美國的芯片技術(shù)，如果中國發(fā)展起來了，就會對美國進行打壓，所以他們只能先下手為強。
其實美國這話聽起來沒有道理，實際上也的確非常荒唐，要知道如今的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中心，早已經(jīng)不在美國了。
為了重新?lián)炱饋硇酒芰?，拜登在任期?nèi)曾砸了不少錢出去，邀請那些芯片企業(yè)到美國去建廠，但同時也有一個附加條件，那就是接受了美國的好處，就不能再到中國建廠。
不得不承認(rèn)的是，美國對芯片的封鎖在初期是起到一定作用的，對我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生了不小的沖擊，比如說華為手機，在5G手機已經(jīng)滿天飛的情況下，卻因為缺乏芯片只能做4G手機。
但有句話說的好，打不倒我們的，終將使我們變得更加強大。
2018年，華為官宣發(fā)行首部5G手機，2024年，中國更是成為了芯片產(chǎn)量第一大國。
不過雖然我國已經(jīng)取得了不少進步，卻還是無法擺脫被美國卡脖子的情況，因為我們制造的芯片，都是28納米以上的低端芯片。
但現(xiàn)在，局面再一次發(fā)生了變化，中國在EUV光刻機領(lǐng)域取得了重大突破！
中國光刻機的突破
根據(jù)觀察者網(wǎng)4月29日報道，我國在EUV光刻機最核心的分系統(tǒng)，激光等離子體EUV光源上取得了重大進展。
對此《南華早報》給出了高度評價，稱中國已經(jīng)在自主生產(chǎn)先進芯片上，突破了阻礙。
接下來我們就簡單介紹一下這個光源實驗平臺，解釋一下它的突破為何會被外界給出如此高的評價。
在EUV光刻機中，激光要以每秒幾萬次的頻率去轟擊液態(tài)錫滴，令其在高溫下變成等離子體，進而發(fā)射出我們看到的極紫外光去制造芯片。
在目前的EUV光刻機中，使用的都是二氧化碳激光驅(qū)動，荷蘭的ASML也是如此。
但研發(fā)這一系統(tǒng)需要面臨一個很大挑戰(zhàn)，那就是能量轉(zhuǎn)換效率，目前二氧化碳激光驅(qū)動能量轉(zhuǎn)換率能達到5.5%。
而我國則采用了固態(tài)激光驅(qū)動，并且達到了國際領(lǐng)先水平，轉(zhuǎn)換率達到了3.42%。
有人可能會疑惑，這不是低于二氧化碳激光驅(qū)動嗎，為什么還說國際領(lǐng)先。
一方面，3.42%的轉(zhuǎn)換率在固體驅(qū)動上的確是國際領(lǐng)先，另一方面，雖然現(xiàn)在的轉(zhuǎn)換率還較低，但理論最大值是可以達到6%的，這只是時間問題。
更關(guān)鍵的是，固體激光驅(qū)動經(jīng)過近十年的發(fā)展，已經(jīng)產(chǎn)生了很多優(yōu)勢，其體積緊湊，轉(zhuǎn)換效率更高，被認(rèn)為是新一代的光刻機驅(qū)動光源。
所以說，我國在該領(lǐng)域取得突破，等于是在光刻機制造上邁出了一大步。
這里我們不得不提一下叫做林楠的研究員，正是他帶領(lǐng)研究團隊實現(xiàn)的這一成果，林楠原本是ASML光源技術(shù)的負(fù)責(zé)人，后來在2021年以海外高層次人才身份回國。
短短四年時間，他就帶領(lǐng)團隊取得了如此重要的成果，實在是太優(yōu)秀了，讓我們一起為他點贊。
信息來源：
2025-04-29 13:45 觀察者網(wǎng) 中國取得EUV技術(shù)重要突破，阿斯麥CEO還在“嘴硬”？
2023-09-08 15:47 鳳凰衛(wèi)視 大新聞大歷史丨中美芯片戰(zhàn)
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