國(guó)產(chǎn)EUV光刻機(jī)真的要來(lái)了么？結(jié)合多方信息，現(xiàn)在我們可以做個(gè)大膽的推測(cè)，我們的國(guó)產(chǎn)EUV光刻機(jī)原型機(jī)，最快應(yīng)該就會(huì)在今年下半年問(wèn)世。
4月29號(hào)的時(shí)候，南華早報(bào)報(bào)道稱，由阿斯麥前首席科學(xué)家林楠博士帶領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)，取得了對(duì)EUV光刻機(jī)技術(shù)的最新突破，由林楠團(tuán)隊(duì)研發(fā)的固體激光器，在電光轉(zhuǎn)換效率方面，已經(jīng)達(dá)到了國(guó)際頂尖水平，有望成為新一代激光等離子體極紫外光刻光源的驅(qū)動(dòng)光源。
我去查了一下林楠博士的資料，真正的大牛。他曾在荷蘭阿斯麥擔(dān)任研究部研發(fā)科學(xué)家以及研究部量檢測(cè)光源技術(shù)負(fù)責(zé)人，期間累計(jì)申請(qǐng)、授權(quán)國(guó)際專利110項(xiàng)，他的導(dǎo)師是2023年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)獲得者安妮·呂利耶。2021年，林楠回到國(guó)內(nèi)，在中科院任職，主攻極紫外光源、芯片量檢測(cè)兩大方向。
那么，這一次，林楠團(tuán)隊(duì)突破的固體激光器，又有什么價(jià)值呢？
首先，我們要知道，EUV光刻機(jī)的研制難度極大，目前全世界也只有荷蘭阿斯麥一家公司能制造，而且阿斯麥的EUV光刻機(jī)，也是集合了整個(gè)西方工業(yè)之力，才取得的突破。EUV光刻機(jī)又被稱為極紫外光刻機(jī)，它的研發(fā)難點(diǎn)很多，最主要的有這三個(gè)：光源、光學(xué)系統(tǒng)和設(shè)備制造。
首先是光源，EUV光刻機(jī)需要有穩(wěn)定的13.5納米波長(zhǎng)的極紫外光，只有在這個(gè)條件下，才能實(shí)現(xiàn)7納米及以下芯片的制備工作。在今年1月份，哈工大宣布了一條重磅消息，他們搞定了13.5納米極紫外光源，這就相當(dāng)于為我們的EUV光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)了0到1的突破。
當(dāng)然，只是搞定光源還不行。
打個(gè)比方，水的沸點(diǎn)是100攝氏度，你劃一根火柴，溫度肯定超過(guò)100攝氏度，但是你很難靠一根火柴就燒開(kāi)一壺水，因?yàn)榛鸩窈芸炀蜁?huì)熄滅，你無(wú)法提供穩(wěn)定的溫度條件。EUV光刻機(jī)也一樣，不僅需要13.5納米極紫外光，還需要穩(wěn)定輸出13.5納米極紫外光，這時(shí)候就需要一套能夠提供支持的光學(xué)系統(tǒng)。而林楠團(tuán)隊(duì)的突破點(diǎn)，就是這個(gè)。
當(dāng)然，就算有光源和光學(xué)儀器，也不能馬上就能制造EUV光刻機(jī)。EUV光刻機(jī)號(hào)稱人類歷史上最為復(fù)雜精密的機(jī)器，因?yàn)槠鋬?nèi)部有超過(guò)10萬(wàn)個(gè)精密零件，這肯定不是一個(gè)研究團(tuán)隊(duì)就能搞定的事，它需要的是，一套龐大的供應(yīng)鏈來(lái)配合。而這，恰恰是中國(guó)最大的優(yōu)勢(shì)。
在看上個(gè)月的新聞，由華為參與的EUV光刻機(jī)制造工作已經(jīng)進(jìn)入到測(cè)試階段，這說(shuō)明我們?cè)贓UV光刻機(jī)設(shè)備制造領(lǐng)域，也走到了最后階段。所以為什么我開(kāi)頭說(shuō)，最快今年下半年，我們的國(guó)產(chǎn)EUV光刻機(jī)就能問(wèn)世。
從我們國(guó)產(chǎn)EUV光刻機(jī)研發(fā)歷程來(lái)看，我們不是遵循一個(gè)技術(shù)接著一個(gè)技術(shù)突破的發(fā)展路線，而是把整個(gè)技術(shù)拆分成不同的單元，分別交由不同的團(tuán)隊(duì)來(lái)突破，因此才能取得多點(diǎn)開(kāi)花的效果，從這個(gè)角度來(lái)看，中國(guó)取得成功是必然的。過(guò)去，西方可能做得到這一點(diǎn)，但如今他們也做不到了，今天也只有中國(guó)能做到。
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