2023年末，三星與ASML簽署了一項(xiàng)價值1萬億韓元的協(xié)議，雙方將在韓國京畿道東灘投資建設(shè)半導(dǎo)體芯片研究設(shè)施，并在那里共同努力改進(jìn)EUV光刻制造技術(shù)。與此同時，三星還獲得了High-NA EUV光刻設(shè)備技術(shù)的優(yōu)先權(quán)。
據(jù)TrendForce報道，ASML現(xiàn)在似乎放棄了與三星的合作建設(shè)半導(dǎo)體芯片研究設(shè)施，開始將早期購買的土地出售。據(jù)了解，ASML在去年購入了6塊土地，總面積達(dá)到了約19000平方米，其中2塊已經(jīng)出售，另外2塊在掛牌出售。至于具體什么原因，或者雙方計劃有什么改變，暫時還不清楚。
此舉引發(fā)了外界對ASML與三星合作伙伴關(guān)系的質(zhì)疑，不過有消息稱，雙方正在尋求更有效的替代方案，比如尋找新地點(diǎn)另外建造研究設(shè)施，可能位于華城郊外，甚至可能選擇在三星的園區(qū)內(nèi)。由于韓國是ASML的關(guān)鍵市場質(zhì)疑，隨著三星推進(jìn)先進(jìn)制程節(jié)點(diǎn)的開發(fā)，雙方應(yīng)該會繼續(xù)保持密切合作。根據(jù)ASML的報告，韓國成為了其2025年第一季度最大的市場，占總收入的40%，高于2024年第四季度的25%。
三星已經(jīng)在上月初，在其華城園區(qū)引入了首臺ASML制造的High-NA EUV光刻機(jī)，型號為“TWINSCAN EXE:5000”，主要用于技術(shù)研發(fā)工作，預(yù)計2025年年中開始使用。三星也成為了英特爾（2023年末）和臺積電（2024年第三季度）之后，第三家安裝High-NA EUV光刻機(jī)的半導(dǎo)體制造商。
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