2004年，一位60歲的老人從美國硅谷飛抵上海浦東。
在出租車上，他打趣地讓司機(jī)猜猜他多大。
出租車司機(jī)打量他后笑道：“您看起來只有38歲！”
老人聞言爽朗大笑：“太好了，以后我就是38歲的人！”
這位老人，正是被譽(yù)為“中國芯片刻蝕機(jī)之父”的尹志堯。此刻，他正把人生刻度重置到了中國芯的起跑線。
2025年1月15日，企業(yè)家之夜活動現(xiàn)場，81歲的尹志堯手捧鮮花，作為當(dāng)天晚上年齡最大的獲獎(jiǎng)?wù)?，接受大家的致敬?/strong>
● 企業(yè)家之夜，尹志堯博士領(lǐng)獎(jiǎng)瞬間。圖片來源：微博@中微公司官微
已耄耋之年的他，還神采奕奕地指揮著北京四中合唱團(tuán)的孩子們，唱響了《中微之歌》。
伴隨著孩子們激情洋溢的歌聲，尹志堯的傳奇大幕悄然拉開。
1、從北大學(xué)子到硅谷精英
對于國人來說，“刻蝕機(jī)”是一個(gè)無比陌生的詞匯。
但在高科技領(lǐng)域，它是半導(dǎo)體制造中不可或缺的核心設(shè)備之一，更是我國制造“中國芯”的基石。
● 晶圓制造
正是在尹志堯及其團(tuán)隊(duì)的努力下，中國才得以自主生產(chǎn)出刻蝕機(jī)，并迫使美國取消了對我國刻蝕機(jī)出口的禁令。
如今，中微公司的刻蝕設(shè)備，在實(shí)驗(yàn)室達(dá)到0.02納米的精準(zhǔn)度，而國外刻蝕機(jī)巨頭目前量產(chǎn)能力尚在5納米到3納米階段。
● 中微研發(fā)的刻蝕設(shè)備。圖片來源：中微官網(wǎng)
正因如此，很多人說，尹志堯這個(gè)名字，注定會載入史冊。
1944年，祖籍安徽的尹志堯，出生于北京一個(gè)知識分子家庭。
由于祖父和父親都曾在國外留學(xué)，尹志堯在濃厚的文化氛圍中長大，接受了良好的教育。
高中畢業(yè)后，尹志堯考入中國科技大學(xué)化學(xué)物理系，后在蘭州煉油廠和中科院系統(tǒng)工作。
1978年，尹志堯考入北京大學(xué)化學(xué)系讀碩士。
當(dāng)時(shí)北京大學(xué)有兩棟很特別的大樓，里面裝著密密麻麻的電子管，那是國內(nèi)最先進(jìn)的計(jì)算機(jī)，內(nèi)存為128K（相當(dāng)于現(xiàn)代手機(jī)內(nèi)存的百萬分之一）。
而彼時(shí)的尹志堯并不知道，未來有一天，他主持研發(fā)的設(shè)備，能在米粒上雕刻出10億個(gè)漢字。
1980年，36歲的尹志堯在親戚的幫助下赴美留學(xué)。
● 留美期間的尹志堯
4年后，他以優(yōu)異的成績拿到美國加利福尼亞大學(xué)洛杉磯分校的物理化學(xué)博士學(xué)位。
畢業(yè)后的尹志堯，進(jìn)入美國硅谷半導(dǎo)體巨頭英特爾公司，開啟了他傳奇般的科技人生。
工作2年后，他跳槽到華人林杰屏創(chuàng)建的泛林集團(tuán)（LAM）。
● 泛林集團(tuán)（LAM）
在泛林的5年中，尹志堯從研發(fā)部資深工程師做到了資深經(jīng)理，還開發(fā)出了彩虹號等離子體刻蝕機(jī)。
有了尹志堯這員干將，泛林得以快速發(fā)展，從一個(gè)岌岌可危的小公司，蛻變成為市場占有率40%的行業(yè)第一。
在硅谷，尹志堯成了香餑餑，各大半導(dǎo)體公司爭相拉攏，欲將其招之麾下。
● 在美期間的尹志堯
1991年，尹志堯接受了美國應(yīng)用材料（AMAT）公司的邀請，擔(dān)任總部首席技術(shù)官。
在他的牽頭下，AMAT公司相繼研發(fā)出多款新型刻蝕機(jī)，再次回到了刻蝕機(jī)全球龍頭的位置。
在半導(dǎo)體行業(yè)深耕20年，尹志堯一共擁有280多項(xiàng)多國專利，行業(yè)有一半企業(yè)都用過他參與研發(fā)的設(shè)備。
基于他的成就和對AMAT的貢獻(xiàn)，尹志堯被任命為公司副總裁。
在國內(nèi)民眾月收入僅有千元左右的時(shí)代，尹志堯就已經(jīng)過上了年薪百萬、財(cái)富自由的生活。
在硅谷打拼的華人雖然為數(shù)不少，但有如此成就者實(shí)屬鳳毛麟角，堪稱硅谷傳奇。
2004年，即將60歲的尹志堯面臨退休。在世人看來，他在異國他鄉(xiāng)辛苦打拼半生，如今優(yōu)渥清閑的退休生活觸手可及，是到了該享受人生的時(shí)候了。
然而，命運(yùn)卻在這時(shí)，給了尹志堯新的選擇。
2、60歲的“豪賭”
這一年，在一次國際半導(dǎo)體設(shè)備展覽會上，尹志堯邂逅了上海經(jīng)委副主任江上舟。
正是這次見面，改變了他的人生軌跡。
江上舟是尹志堯在北京四中的校友，畢業(yè)于清華無線電專業(yè)的他，很早就意識到集成電路領(lǐng)域發(fā)展的重要性。
● 江上舟
當(dāng)時(shí)，我國的芯片來源主要靠進(jìn)口，而以美國為首的西方國家，動不動就把芯片納入管制范疇。
江上舟深知，要打破這個(gè)局面，變被動為主動，最好的辦法就是實(shí)現(xiàn)自主生產(chǎn)芯片。
當(dāng)時(shí)中芯國際已經(jīng)落戶上海，如果刻蝕機(jī)也能實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，那對“中國芯”的制造必將如虎添翼。
● 芯片電子板。圖片來源：攝圖網(wǎng)
于是，江上舟向刻蝕機(jī)專家尹志堯發(fā)出了邀請，他誠懇地說道：“回來吧，我們一起干，我已經(jīng)是癌癥晚期，哪怕豁出這條命，也要造出中國自己的刻蝕機(jī)，這樣就再也不怕外國人卡我們的脖子了?！?/p>
聽到老同學(xué)的肺腑之言，尹志堯身為中國人的血液在燃燒。
想到自己的父輩，不管面對多少誘惑，都堅(jiān)定地選擇回國，積極投身國家建設(shè)。
而自己這20年來，一直在為美國人作嫁衣，為美國做貢獻(xiàn)，卻唯獨(dú)沒有用自己的學(xué)識來回報(bào)祖國。
● 圖片來源：中國財(cái)經(jīng)報(bào)道
在美國生活多年的尹志堯，心里很清楚，即便美國再發(fā)達(dá)，也無法給他帶來歸屬感。
只有中國才是他的根，這一點(diǎn)永遠(yuǎn)也不會變。
現(xiàn)在，是時(shí)候回去為國效力了。
盡管沒有任何創(chuàng)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，可60歲的尹志堯，毅然帶領(lǐng)15人的團(tuán)隊(duì)飛抵上海，在浦東創(chuàng)辦了中微半導(dǎo)體設(shè)備公司。
● 創(chuàng)業(yè)初期的尹志堯
那時(shí)，我國的集成電路剛剛起步，資金、人才、設(shè)備方面都存在較大缺口，加上刻蝕機(jī)研制生產(chǎn)的復(fù)雜程度，不亞于兩彈一星，這就使得尹志堯的創(chuàng)業(yè)之路，無比坎坷艱辛。
可無論有任何困難，都阻礙不了他為祖國研制刻蝕機(jī)的激情和決心。
政府部門投入的資金消耗殆盡后，那就跑回美國拉融資。
沒有做微觀設(shè)備所需幾十個(gè)領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人才，就從各大院校招些相關(guān)專業(yè)學(xué)生來培養(yǎng)。
2007年，中微公司第一臺CCP刻蝕機(jī)交付成功，這可是中國自己制造的大國重器??！
● 中微公司自主可控的刻蝕機(jī)
這也標(biāo)志著我國“中國芯”的進(jìn)程，取得了巨大突破。
對于刻蝕機(jī)，尹志堯有過一個(gè)比喻。
他說芯片制造，好比在人的頭發(fā)絲的幾千分之一甚至幾萬分之一的尺度上，蓋一個(gè)50到60層的大樓。
● 圖片來源：《逐風(fēng)者》
這是需要多部門多設(shè)備協(xié)同作戰(zhàn)的。
其中最關(guān)鍵的幾種設(shè)備里，薄膜機(jī)負(fù)責(zé)鋪好材料，光刻機(jī)在上面畫好花紋，然后刻蝕機(jī)再把多余的地方剪掉，像剪窗花一樣。
隨著科技的發(fā)展，芯片的體積越來越小，精度也越來越高，加工步驟也越來越多，刻蝕機(jī)的作用也就越來越大。
3、芯片飛天，從追趕者到領(lǐng)跑者
隨后數(shù)年，尹志堯帶著他的團(tuán)隊(duì)攻克了一個(gè)個(gè)難關(guān)，刻蝕機(jī)從14納米到7納米，再到5納米，締造了一個(gè)個(gè)中國傳奇。
然而，這份亮眼的成績單，卻讓尹志堯的幾個(gè)前東家不淡定了。
最先跳出來的是AMAT。
2007年10月，他們向美國法院提請?jiān)V訟，狀告尹志堯和中微公司商業(yè)秘密侵權(quán)。
● 美國應(yīng)用材料公司（AMAT）
理由是，中微公司的核心技術(shù)人員，都曾在硅谷的相關(guān)公司服務(wù)過。
作為美國芯片制造裝備研發(fā)領(lǐng)域的專家，尹志堯深知專利技術(shù)的堡壘，又怎會犯這種原則性的錯(cuò)誤？
從研發(fā)的第一天，他就要求團(tuán)隊(duì)成員不光要避開行業(yè)內(nèi)的幾百個(gè)專利技術(shù)，還要避開原公司的所有設(shè)計(jì)方案。
這樣做，既能避免糾紛，也保護(hù)了中微公司的知識產(chǎn)權(quán)。
這場官司打了兩年半，美國律師在徹查了中微公司內(nèi)部600多萬份文件后，證實(shí)中微公司的刻蝕機(jī)技術(shù)全部是自發(fā)研制。
鐵證如山，AMAT只得鎩羽而歸。
● 尹志堯在中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司前臺留影
而在中微公司與AMAT的官司還未了結(jié)前，前前東家泛林也向臺灣法院起訴中微公司侵權(quán)。
當(dāng)起訴被駁回后，中微公司以侵犯商業(yè)機(jī)密為由，向泛林提起了反訴訟。
泛林萬萬沒想到，這回旋鏢最終還是扎到了自己身上。
法院不僅判決侵權(quán)成立，還勒令泛林銷毀與中微公司刻蝕機(jī)技術(shù)相關(guān)的所有文件和照片，此事才算塵埃落定。
然而，一波未平一波又起。
中微公司在半導(dǎo)體行業(yè)的崛起，早已驚動了美國商務(wù)部和國防部。
2015年，美國商務(wù)部識時(shí)務(wù)地撤銷了對中國出口等離子刻蝕機(jī)的禁令。
可美國國防部卻兩次無理由地，將中微公司列入軍事企業(yè)清單。
中微公司據(jù)理力爭，并于2024年8月狀告美國國防部。
● 中微公司起訴美國商務(wù)部。圖片來源：中微公司官微
最終，美國國防部低下了高傲的頭。
2024年12月，他們將中微公司移除了清單，并撤銷了對我國低端芯片的制裁。
至此，在中美這場曠日持久的芯片大戰(zhàn)中，中國大獲全勝。
都說對手是最好的老師，多年來，美國在芯片技術(shù)方面的“卡脖子”，極大地推動了我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主研制的進(jìn)程。
如今，我國芯片制造的幾大關(guān)鍵設(shè)備，都已經(jīng)實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。
特別是中微公司生產(chǎn)的刻蝕機(jī)設(shè)備，不僅精度達(dá)到全球最高水平，并且全部由國內(nèi)供應(yīng)商替代。
這意味著，我國的芯片技術(shù)已經(jīng)一飛沖天，從行業(yè)追趕者變成了領(lǐng)跑者。
中微公司經(jīng)過短短20年的時(shí)間，就成為全球頂尖的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，被譽(yù)為“華人半導(dǎo)體之光”。
● 中微公司臨港總部。圖片來源：中微公司官微
作為世界頂尖的科學(xué)家，尹志堯有著非同一般的眼光與格局。
對于挑起爭端的AMAT和泛林，他選擇握手言和。
尹志堯深知，芯片不是哪個(gè)英雄造出來的，而是成千上萬個(gè)工程師和工人共同努力的成果。
● 圖片來源：《逐風(fēng)者》
因此，中微公司采取的是員工全員持股制。
在中微公司市值到達(dá)1000億的那天，全公司750人有50人身家超過1億；375人身家在1000萬到1億之間；就連入職才兩三年的新人，也有100萬到1000萬的身家。
令人出乎意料的是，作為中微創(chuàng)始人的尹志堯，卻只有公司0.7%的股份。
有這樣的領(lǐng)頭人，是中微之大幸，也是國家之大幸！
從硅谷精英到民族工業(yè)脊梁，尹志堯用20年詮釋了什么是不忘初心。
從花甲之年歸國創(chuàng)業(yè)，到帶領(lǐng)中微公司打破國際壟斷，他的故事不僅是中國芯片崛起的縮影，更是一曲永不言敗的科技戰(zhàn)歌。
“芯片戰(zhàn)爭”未有終局，但尹志堯的信念始終如一，哪怕我們起步晚了30年，只要咬牙堅(jiān)持下去，就一定能做到世界前沿。
● “凍齡”38歲的尹志堯。圖源中微公司官網(wǎng)
中國科技的崛起無法阻擋。
正如尹志堯凍齡永駐的“38歲”青春，“中國芯”將永遠(yuǎn)年輕，永遠(yuǎn)熱血沸騰！文/鳶兒
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