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散英魂寄千萬雄鷹翱翔神州，

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

——《國務(wù)院給予江上舟同志挽聯(lián)》

前沿導(dǎo)讀

半導(dǎo)體行業(yè)觀察者、荷蘭科技領(lǐng)域?qū)I(yè)記者馬克·海金克，在多年前就已經(jīng)開始針對ASML以及全球的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)進(jìn)行深度的跟蹤報道。

他將ASML近40多年的技術(shù)發(fā)展進(jìn)行了總結(jié)提煉，并且借助當(dāng)下中美兩國在芯片技術(shù)上面的激烈博弈，公開對芯片產(chǎn)業(yè)以及光刻機(jī)產(chǎn)品發(fā)表了權(quán)威看法。

未雨綢繆

荷蘭的ASML，最開始只是飛利浦公司的一個分支部門，涉及半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)。后來飛利浦公司將其獨(dú)立出來，與ASM公司進(jìn)行了合并，成立了ASML公司，專門負(fù)責(zé)光刻機(jī)產(chǎn)品的技術(shù)研發(fā)。

在ASML沒有發(fā)展起來之前，國際光刻機(jī)的霸主是美國的GCA，日本尼康是GCA光刻機(jī)鏡頭的供應(yīng)商。但是后來美國GCA打算發(fā)展全自研的光刻機(jī)設(shè)備，于是便將尼康從供應(yīng)商的名單當(dāng)中去除。

尼康意識到了問題的嚴(yán)重性，便通過日本的其他產(chǎn)業(yè)鏈公司購買了一臺美國GCA研發(fā)的光刻機(jī)產(chǎn)品，通過逆向工程將光刻機(jī)設(shè)備的制造工藝推導(dǎo)出來，從而開發(fā)出了尼康自主的光刻機(jī)產(chǎn)品。

在后來的競爭當(dāng)中，日本尼康的光刻機(jī)產(chǎn)品獲得了市場的青睞，而美國的光刻機(jī)產(chǎn)品開始淡出市場。隨著美國跟日本在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上面的競爭，日本尼康公司被美國視為眼中釘，想要將尼康打落神壇。

荷蘭的ASML成為了美國大力看重的企業(yè)，并且在英特爾和美國政府的推動下，成立EUV LLC技術(shù)聯(lián)盟，集合頂級的科研機(jī)構(gòu)研發(fā)EUV光刻技術(shù)，ASML成為了技術(shù)聯(lián)盟中最后一個環(huán)節(jié)的設(shè)備制造商。

在開發(fā)EUV光刻機(jī)的過程中，英特爾、臺積電、三星等巨頭芯片企業(yè)大量給ASML注資，這種既是客戶又是股東的利益綁定，將ASML推到了一個其他企業(yè)無法企及的高度，其年度研發(fā)資金高達(dá)32億歐元以上。

在EUV光刻機(jī)研發(fā)完成，并且投入市場使用之后，全球芯片產(chǎn)業(yè)迎來了快速發(fā)展階段。與此同時，中國芯片企業(yè)對于光刻機(jī)的需求大量增加，而美國也開始了針對中國企業(yè)的制裁方案。

美國最開始對荷蘭政府施壓，禁止其允許ASML向中國出口EUV光刻機(jī)設(shè)備，而老舊的DUV設(shè)備不受影響。

在無法獲得EUV光刻機(jī)的情況下，中國芯片企業(yè)開始大量采購ASML的DUV光刻機(jī)。

據(jù)海金克的深入調(diào)查表示，中國總共擁有800多臺來自于ASML的進(jìn)口光刻機(jī)產(chǎn)品。這些設(shè)備有一半掌握在中國芯片企業(yè)的手中，并且絕大部分都在中芯國際旗下的晶圓廠中。另外一半則是被三星、海力士、臺積電的工廠所買走。

在全球芯片產(chǎn)業(yè)穩(wěn)步發(fā)展的過程中，中國市場卻開始源源不斷的大量囤積進(jìn)口光刻機(jī)，這引起了美國政府的高度警覺。

儲備攻堅(jiān)力量

據(jù)ASML前CEO彼得·溫寧克表示，美國對ASML的出口限制，并不會影響其公司的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，畢竟不能跟中國大陸市場做生意，不代表不可以跟其他地方做生意。

但是中國芯片企業(yè)有著其他企業(yè)沒有的韌性和堅(jiān)毅性，并且中國企業(yè)一定會先開始攻克老舊的DUV工藝設(shè)備，然后再發(fā)展先進(jìn)的EUV技術(shù)設(shè)備。

ASML的首席技術(shù)官馬丁·范登布林克，在2018年至2019年期間來到了中國，跟中國的芯片企業(yè)進(jìn)行技術(shù)訪問。

馬丁也來到了中國唯一光刻機(jī)的制造商上海微電子公司進(jìn)行訪問，畢竟上海微電子公司與ASML是同行，馬丁想要了解中國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)目前面臨的困難，以及中國企業(yè)所掌握的技術(shù)方法。

雖然上海微電子的設(shè)備產(chǎn)品并不太吸引馬丁，因?yàn)檫@些產(chǎn)品如果放在馬丁的ASML公司，只能算是被淘汰的技術(shù)，但是馬丁依然被中國企業(yè)清晰的發(fā)展思路、不斷攻克難題的韌性所震撼。

馬丁在后來的專訪中表示，雖然上海微電子的設(shè)備被卡在了90nm技術(shù)上，但是中國企業(yè)在研究更好的技術(shù)，比如28nm的浸潤式系統(tǒng)，只不過這種技術(shù)的研發(fā)難度較大，中國企業(yè)需要付出更多的努力。

但是美國的制裁可以算作一個決定性因素，既然阻止了中國企業(yè)采購進(jìn)口光刻機(jī)，那么中國企業(yè)會選擇使用上海微電子的設(shè)備，這給了上海微電子公司極大的市場支持，依靠這個支持力度，中國企業(yè)會不斷優(yōu)化自己的產(chǎn)品，從而順理成章的突破曾經(jīng)的技術(shù)瓶頸。