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在中微公司,開車的司機、看門的招待員都有股票。

文 | 華商韜略 江上之

2024年8月2日,中微公司成立20周年。

董事長兼總經(jīng)理尹志堯說:“我有一個美好的憧憬,并且有充分的信心,20年后,當我們慶祝中微40周年時,我們一定再相聚?!?/p>

這一年,尹志堯80歲。

20年前剛回國創(chuàng)業(yè)時,尹志堯60歲。出租車司機對他說:“您看起來只有38歲!”

尹志堯一聽,爽朗地笑道:“太好了,以后我就是38歲的人?!?/strong>

【國際先進】

突破卡脖子,打造“國之重器”是條艱難的道路,過去的20年,尹志堯走的就是這條路。

半導體是中國最薄弱但最重要的產(chǎn)業(yè)之一,半導體關(guān)鍵設(shè)備則是半導體發(fā)展的基礎(chǔ)。半導體設(shè)備最關(guān)鍵的三種分別是:光刻機、刻蝕機、薄膜機。

尹志堯所創(chuàng)辦的中微公司,目前已是全球排名第四的刻蝕機企業(yè),可全面自主支持中國在這一領(lǐng)域的需求與發(fā)展。

在尹志堯的比喻里,芯片微觀加工就像是剪窗花,薄膜機鋪一層材料紅紙,光刻機在紅紙上畫好花紋,刻蝕機把不要的部分刻掉。

如今,中微公司的刻蝕設(shè)備技術(shù)能力已達到5納米以及更先進工藝水平,可以全面取代國際先進設(shè)備。

5納米的加工能力相當于在人頭發(fā)絲直徑萬分之一的尺度上,修建50-60層樓房。

不僅如此,憑借行業(yè)首創(chuàng)的刻蝕設(shè)備雙臺機技術(shù),中微公司率先提出“皮米級”加工精度概念,其刻蝕精度已經(jīng)達到100“皮米”以下水平,相當于人的頭發(fā)絲350萬分之一的精準度。

當前,中微公司的刻蝕機已被一線半導體制造商廣泛采用,涵蓋了65納米、14納米、7納米及5納米等制程,主要客戶包括臺積電、SK海力士、聯(lián)電、中芯國際和長江存儲等。

從能力上看,中微公司基本和國外設(shè)備公司處在同一水平,且可以提供雙臺機和單臺機兩種選擇,而國際幾大設(shè)備廠商只有單臺機,這是中微公司獨特的亮點所在。

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尹志堯說:“在國內(nèi)外競爭越來越激烈的情況下,我們沒有別的選擇,一定要有自主可控、自立自強的精神,使我們國產(chǎn)設(shè)備盡快達到國際先進水平,甚至在部分領(lǐng)域超過國際先進水平?!?/strong>而今天全球一流的芯片生產(chǎn)線上,已有600多個反應臺用的全是中微的雙臺機。

與之對應,自2021年起,在全球刻蝕設(shè)備市場,中微公司的市場份額位居第四位,前三名分別是LAM(泛林集團,又稱科林研發(fā))、TEL(東京電子)、AMAT(應用材料)三家國際大廠。

這意味著,無論技術(shù)水平,還是規(guī)模實力,中微公司都已達到國際先進水平。

【最強大腦】

實際上,尹志堯與三家刻蝕機國際大廠中的兩家LAM、AMAT都有很深的淵源。

1944年,尹志堯出生于北京,中學就讀于久負盛名的北京四中,之后考入中國科技大學化學物理系,畢業(yè)后在蘭州煉油廠和中科院系統(tǒng)工作了近十年。

1978年,尹志堯考入北京大學化學系,攻讀碩士。他還記得,當時國內(nèi)最先進的計算機,內(nèi)存只有128K,卻占了兩棟大樓,里面裝著數(shù)不清的電子管。

1980年,36歲的尹志堯成為北京大學第二個自費出國留學生。

1984年,已獲得加州大學洛杉磯分校物理化學博士學位的尹志堯,進入硅谷,在英特爾中心研究開發(fā)部研發(fā)芯片,成為第一個進入英特爾的中國留學生。

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當時英特爾已經(jīng)把128K的容量做到一個指甲蓋大小的芯片上了。

但尹志堯很快開始對設(shè)備更感興趣,他認為,沒有微觀加工設(shè)備,就造不出芯片,也就不會誕生那么多偉大的公司。

在一次英特爾對LAM的刻蝕設(shè)備采購評估中,尹志堯參與了評價,并且給出了否定意見。當LAM果真失去英特爾的訂單,并了解到尹志堯就是那個對其批評最多和建議最多的人,他們卻非但沒有對尹志堯生氣,而是決定把尹志堯挖過去,助力研發(fā)刻蝕設(shè)備。

此時的LAM已處在崩潰的邊緣,跳槽面臨著巨大的風險。

反復權(quán)衡考慮后,尹志堯還是決定去冒這個險,因為他已經(jīng)想出怎么把刻蝕設(shè)備做好的辦法。

1986年-1991年,尹志堯在LAM歷任研發(fā)部資深工程師、研發(fā)部資深經(jīng)理。5年間,尹志堯開發(fā)了彩虹號電容性介質(zhì)等離子體刻蝕機,也開始了電感性等離子體源ICP技術(shù)的開發(fā)。

尹志堯的加盟,幫助LAM擊敗了AMAT,成為國際最強刻蝕機公司,市場占有率超過40%。

這讓AMAT也盯上了尹志堯,并最終將他請了過去。

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1991年-2004年,尹志堯在AMAT歷任等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品總部首席技術(shù)官、總公司副總裁及等離子體刻蝕事業(yè)群總經(jīng)理、亞洲總部首席技術(shù)官。

在這期間,他幫助AMAT研發(fā)成功了幾種刻蝕機,AMAT的刻蝕機業(yè)務也做到世界最大,國際市場份額超40%。

到2004年,尹志堯已在硅谷從事半導體行業(yè)20年,參與并領(lǐng)導了國際幾代等離子體刻蝕機的研發(fā),在半導體行業(yè)擁有了86項美國專利和200多項各國專利,也成為了國際等離子體刻蝕技術(shù)發(fā)展和產(chǎn)業(yè)化的重要推動者,以及微觀設(shè)備領(lǐng)域的“最強大腦”之一。

由此,尹志堯也被譽為“硅谷最有成就的華人之一”

【貢獻祖國和人民】

2004年,已在硅谷功成名就,且已60歲的尹志堯,帶著一批資深的行業(yè)專家落戶上海浦東,創(chuàng)辦了中微公司。

從此,他開始和中國芯片產(chǎn)業(yè)的命運緊密相依。

喚醒尹志堯內(nèi)心深處報國情懷的人是江上舟。

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一個國際半導體設(shè)備展上,尹志堯偶遇了北京四中的校友,時任上海經(jīng)委副主任江上舟。

江上舟是公認的“戰(zhàn)略家”和“實干家”,他較早地意識到半導體芯片是“國之重器”。也正是在江上舟的推動下,張汝京于2000年在上海創(chuàng)立了中芯國際。

江上舟在看了美國AMAT的刻蝕設(shè)備后,問尹志堯:“看來刻蝕機比原子彈還復雜,外國人用它來卡我們的脖子,我們能不能自己把它造出來?”

看到尹志堯有些猶豫,江上舟又說:“我是個癌癥病人,只剩下半條命,哪怕豁出命去也要為國家造出刻蝕機。我們一起干吧!”

尹志堯作為中國人的血脈覺醒了。

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“我是一個中國人,在中國得到了很好的教育,在紅旗下長大的,這個‘根’是去不掉的?!?/strong>尹志堯清楚,雖然在美國發(fā)展得很好,但美國畢竟不是自己的國家。

他說:“我給美國也做了相當多的貢獻了,已經(jīng)夠了。但是我缺的一點就是,我沒有回報我的國家?!?/p>

尹志堯的祖父尹壽松、父親尹懷莘,都曾在赴日留學后選擇回國,為國家建設(shè)和民族工商業(yè)發(fā)展做出了貢獻。

“給外國人做了這么多年嫁衣,是時候給祖國和人民做點貢獻了?!币緢蛴纱讼露Q心,延續(xù)家族前輩的精神,回國報效。

【“打鐵還得自身硬”】

尹志堯和他的團隊回國了,但和老東家的糾葛還在。

2007年6月,中微公司首臺CCP刻蝕設(shè)備產(chǎn)品研制成功,并運往國內(nèi)客戶。

2007年10月,AMAT在美國法院以商業(yè)秘密侵權(quán)為由起訴中微及尹志堯等人。

AMAT認為,一定是從AMAT來到中微的人盜用了該公司的技術(shù),畢竟他們熟悉AMAT的技術(shù)。

作為對策,中微公司聘用了美國一流的律師,用兩年半的時間和2500萬美元的律師費,徹查了600萬件內(nèi)部文件,證明了自己的清白,最終和AMAT和解。

與AMAT的官司未了,尹志堯的前前東家LAM也來“湊熱鬧”。

2009年1月,LAM在中國臺灣起訴中微公司侵權(quán)。時機選得也很巧,就在中微公司設(shè)備剛要進駐中國臺灣某大廠之前。

2009年9月,中國臺灣智慧財產(chǎn)法院認為LAM主張的專利權(quán)不具有新穎性、進步性,駁回LAM訴訟請求。其后LAM雖然兩次提起上訴,但都被駁回。

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來而不往非禮也。

2009年2月,中微公司向中國臺灣智慧財產(chǎn)局提出舉發(fā),主張LAM兩件涉訴專利無效,最終得到支持。

2010年12月,中微公司在上海起訴LAM侵犯公司商業(yè)秘密。2023年6月,法院終審判決,命令LAM銷毀其非法獲取的與中微公司等離子刻蝕機有關(guān)的一份技術(shù)文件和兩張照片。

值得一提的是,LAW的創(chuàng)始人也是華人,中文名林杰屏。

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當以前的合作者成為今天的對手,尹志堯覺得很正常,畢竟在商言商。

與此同時,尹志堯強調(diào)的是,只要重視知識產(chǎn)權(quán)、商業(yè)機密,既遵守我國的法律,也遵守美國的法律,就能立于不敗之地。

“這些較量再一次說明了,‘打鐵還得自身硬’。”尹志堯說,當你從跟跑者變成領(lǐng)跑者,就不怕別人說抄襲了。

因為中微,美國對中國的卡脖子也得到突破。2015年,當中微公司開發(fā)的國產(chǎn)等離子體刻蝕設(shè)備達到世界先進水平,美國商務部立即就解除了這類設(shè)備持續(xù)幾十年的出口管制。

不過凡事都有兩面性,越來越硬的中微公司也被美國政府盯得越來越緊了。

2017年1月,美國總統(tǒng)科技專家委員會(PCAST)發(fā)布的國情咨文“確保美國在半導體產(chǎn)業(yè)的長期領(lǐng)導地位”報告中,分析中國集成電路的芯片設(shè)計、制造、設(shè)備、材料和封裝產(chǎn)業(yè),在32頁的報告里唯一提到的中國公司就是中微公司。

2021年1月,美國國防部無端地把中微公司列入軍事企業(yè)清單。經(jīng)過中微公司四個多月的據(jù)理力爭,美國國防部在2021年6月將中微公司從清單上移除。

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但是,在2024年1月,美國國防部再次無理由地把中微公司列入在美國有運營的軍事企業(yè)清單。

在向美國國防部嚴正交涉、提交有力申述無效的情況下,中微公司于2024年8月在美國正式起訴美國國防部。

經(jīng)過四個月的訴訟和進一步的據(jù)理力爭,美國國防部于2024年12月正式將中微公司從清單移除。

尹志堯表示,此次成功地從清單移除,充分彰顯了中微公司維護自身合法權(quán)益的決心和能力。

中微公司官網(wǎng)則稱:“在過去的十七年里,中微公司在和美國設(shè)備公司及美國政府的五次法律訴訟中,四次取得勝利,兩次成功和解。這說明在商業(yè)和政府關(guān)系上,只要我們奉公守法,擺事實講道理,據(jù)理力爭,斗智斗勇,我們就會立于不敗之地。

【“中微特色社會主義”】

除了要做好半導體設(shè)備,打造一個全員持股的公司也是尹志堯的志向。

雖然是公司的創(chuàng)始人,但尹志堯在中微公司的持股比例只有0.7%。

尹志堯從小到大都是學生領(lǐng)袖,做了20多年,曾任少先隊大隊委員會主席、共青團委委員。

“一直受到社會主義教育。所以我夢想就是當我有機會搞一個團體的時候,一定要是共同勞動,共同享受。這是基因,沒有辦法改變的?!?/strong>尹志堯說,這是他一輩子追求的愿望。

在中微公司,開車的司機、看門的招待員都有股票。

2020年,中微公司上市一年,市值達到1000億元。此時,公司750人里有375人,也就是整整一半的人是1000萬到1億的身價;有50人是1億到10億的身價;還有325人,包括剛剛從學校畢業(yè)入職中微兩三年的,也有100萬到1000萬的身價。

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尹志堯認為,真正的社會主義制度是有錢出錢,有力出力。資本是一種投資,勞動和智力也是一種投資,都應該產(chǎn)生價值的。

所以,公司在價值生長過程中,可以拿出一部分,變成股權(quán)、期權(quán),分給這些創(chuàng)造價值的人。

在中微公司,每一個級別的股權(quán)差20%,每一個級別的工資差10%。這是一個非常扁平的分配體系,帶有非常平均的社會主義色彩,尹志堯稱之為“中微特色社會主義”。

在尹志堯看來,全員持股的奇妙之處,是把員工和管理層的長遠利益,和公司的發(fā)展綁定,激發(fā)團隊活力,保證核心技術(shù)團隊的穩(wěn)定性和持續(xù)性。

作為全球半導體設(shè)備領(lǐng)域的塔尖人物,尹志堯從來都不是一個個人英雄主義者。

他強調(diào),集成電路需要千百萬人集成的努力,這個產(chǎn)業(yè)不是哪一個英雄可以創(chuàng)造出來的,而是千千萬萬的工程師和工人一起合作才能做起來的。

至于自己,他說:

“我沒什么能耐,現(xiàn)在不會搞別的,就一直咬牙堅持做下去,就會做到世界最好?!?/strong>

【參考資料】

[1]《創(chuàng)業(yè)——生命的活力——尹志堯》第一財經(jīng)

[2]《專訪中微公司創(chuàng)始人、董事長尹志堯:花甲再創(chuàng)業(yè),只為不再“芯”痛》上財商學評論

[3]《尹志堯:我是和摩爾吃過晚飯的人》科工力量

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