近年來(lái)，隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)積極推進(jìn)產(chǎn)業(yè)升級(jí)，泛半導(dǎo)體行業(yè)的材料、裝備、零部件產(chǎn)業(yè)廣受關(guān)注，正成為行業(yè)尋求突破的焦點(diǎn)。半導(dǎo)體氣體傳輸系統(tǒng)零部件作為整個(gè)半導(dǎo)體工藝制程中的一個(gè)細(xì)分領(lǐng)域，承擔(dān)著在半導(dǎo)體設(shè)備中精確控制反應(yīng)氣體流量、壓力和純度的關(guān)鍵任務(wù)，被譽(yù)為芯片制造的“血管系統(tǒng)”。在晶圓制造的刻蝕、薄膜沉積等關(guān)鍵工序中，氣體傳輸系統(tǒng)的性能對(duì)芯片良率有直接影響。因而這一關(guān)鍵領(lǐng)域具有三大特征：
圖示：半導(dǎo)體氣體傳輸系統(tǒng)零部件行業(yè)特點(diǎn) 來(lái)源：CINNO Research整理
1、高技術(shù)壁壘：半導(dǎo)體氣體傳輸系統(tǒng)零部件需滿足納米級(jí)的加工精度、超高潔凈度以及耐受強(qiáng)腐蝕等苛刻要求，因此涉及材料科學(xué)、精密機(jī)械等跨學(xué)科技術(shù)積累。
2、強(qiáng)客戶粘性：由于半導(dǎo)體設(shè)備直接決定芯片良率，因而客戶選擇設(shè)備廠商慎之又慎，認(rèn)證周期可長(zhǎng)達(dá)2~3年，而一旦進(jìn)入供應(yīng)鏈，出于工藝穩(wěn)定要求，通常會(huì)形成長(zhǎng)期穩(wěn)定合作關(guān)系?？蛻粝鄬?duì)更關(guān)注氣體傳輸系統(tǒng)零部件對(duì)整體良率的提升，而非降低短期采購(gòu)成本。
3、高度壟斷格局：由于以上特點(diǎn)，該行業(yè)目前主要由美國(guó)UCT、日本Fujikin等傳統(tǒng)大廠主導(dǎo)，先發(fā)優(yōu)勢(shì)明顯，全球CR5高達(dá)75%。而當(dāng)下中國(guó)氣體傳輸系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)化率僅為10%，核心組件幾乎完全依賴進(jìn)口。
根據(jù)CINNO Research最新統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2024年中國(guó)（含臺(tái)灣）半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目投資總額為6,831億元，較去年同期下降41.6%。盡管如此，細(xì)分領(lǐng)域的數(shù)據(jù)顯示，半導(dǎo)體設(shè)備投資逆勢(shì)增長(zhǎng)1.0%，達(dá)到402.3億元，成為唯一實(shí)現(xiàn)正增長(zhǎng)的投資類別。
圖示：2021~2024年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備投資金額趨勢(shì)（含臺(tái)灣） 來(lái)源：CINNO Research
當(dāng)前，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)規(guī)模約175億美元，具體到氣體傳輸領(lǐng)域，2024年中國(guó)氣柜和氣體管路市場(chǎng)規(guī)模約為22億美元，但高端市場(chǎng)基本被外企壟斷。
富創(chuàng)精密戰(zhàn)略投資Compart Systems：全產(chǎn)業(yè)鏈拼圖的重要一環(huán)
富創(chuàng)精密成立于2008年，是國(guó)內(nèi)純度最高、規(guī)模最大、產(chǎn)品種類最全的半導(dǎo)體零部件供應(yīng)商，也是全球?yàn)閿?shù)不多可提供7nm制程半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件供應(yīng)商。公司主營(yíng)業(yè)務(wù)為半導(dǎo)體設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備及其他領(lǐng)域的設(shè)備提供精密零部件。
富創(chuàng)精密主要產(chǎn)品包括工藝零部件、結(jié)構(gòu)零部件、模組產(chǎn)品和氣體管路。從營(yíng)業(yè)收入占比看，截止2024年半年報(bào)，工藝零部件收入占比23%，結(jié)構(gòu)零部件收入占比27%，模組產(chǎn)品收入占比40%，氣體產(chǎn)品收入占比10%，從收入?yún)^(qū)域來(lái)看，中國(guó)大陸營(yíng)業(yè)收入占比持續(xù)提升，從2018年的14%，2022年的54%，提升至2024年上半年的75%。
于2022年上市之后，富創(chuàng)精密營(yíng)業(yè)收入實(shí)現(xiàn)了快速增長(zhǎng)，2024年?duì)I收實(shí)現(xiàn)超30億元，較2023年增長(zhǎng)47%，較2022年增長(zhǎng)97%。富創(chuàng)精密一方面積極加速先進(jìn)制程產(chǎn)品拓展及研發(fā)，另一方面積極進(jìn)行產(chǎn)能布局，在國(guó)內(nèi)，現(xiàn)已經(jīng)建成沈陽(yáng)和南通兩處生成基地，前瞻性布局北京生產(chǎn)基地，三大生產(chǎn)基地全部達(dá)產(chǎn)后，產(chǎn)能可達(dá)到60億元，在海外，為進(jìn)一步擴(kuò)大公司國(guó)際業(yè)務(wù)規(guī)模，深化公司與國(guó)際客戶之間的黏性，提高全球供應(yīng)鏈采購(gòu)能力，新加坡工廠正在按照計(jì)劃有序建設(shè)中。
富創(chuàng)精密的奮斗與發(fā)展歷程是國(guó)內(nèi)泛半導(dǎo)體供應(yīng)鏈企業(yè)的一個(gè)縮影。但在迎頭趕上、快速發(fā)展之余，氣體傳輸系統(tǒng)的模塊化能力存在短板仍是富創(chuàng)精密一個(gè)戰(zhàn)略上的痛點(diǎn)。目前在14nm以下的先進(jìn)制程中，高純度氣體控制技術(shù)受制于海外供應(yīng)商，已經(jīng)嚴(yán)重制約了設(shè)備廠商的供應(yīng)鏈保障
Compart Systems是全球領(lǐng)先的氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域供應(yīng)商之一，也是全球少數(shù)可完成該領(lǐng)域零組件精密加工全部環(huán)節(jié)的公司。其主要產(chǎn)品包括表面貼裝件（氣體流道塊）、BTP （Built To Print）組件、裝配件、密封件、氣棒總成、焊接件等，應(yīng)用于集成電路制造工藝中氧化/擴(kuò)散、蝕刻和沉積等設(shè)備所需的精確氣體輸送系統(tǒng)。同時(shí)，公司是全球少數(shù)可提供氣體流量控制器（MFC）組裝的公司。Compart Systems也可為工業(yè)、石油天然氣領(lǐng)域客戶提供包括高精度金屬加工部件等產(chǎn)品。
在全球行業(yè)地位方面，Compart Systems的表面貼裝件（氣體流道塊）位居氣體傳輸系統(tǒng)細(xì)分領(lǐng)域龍頭地位，并且擁有下一代產(chǎn)品iBlock專利。Compart Systems在氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域具有豐富的經(jīng)驗(yàn)積累和產(chǎn)品布局，具備研發(fā)設(shè)計(jì)、流量控制、二次深入加工、裝配測(cè)試等方面的綜合技術(shù)實(shí)力。
通過(guò)特殊目的公司收購(gòu)浙江鐠芯（Compart Systems控股股東）等方式，富創(chuàng)精密以戰(zhàn)略投資人身份，實(shí)現(xiàn)了對(duì)Compart Systems的間接重要股東地位，并獲取關(guān)鍵能力協(xié)同，為后續(xù)深化自身產(chǎn)業(yè)鏈整合預(yù)留了操作空間。富創(chuàng)精密將大力推動(dòng)整合雙方優(yōu)勢(shì)資源。中短期內(nèi)，此次戰(zhàn)略投資將助力富創(chuàng)精密在氣體傳輸供應(yīng)鏈中取得優(yōu)勢(shì)地位，增強(qiáng)其全球供應(yīng)鏈地位，而富創(chuàng)精密原本較為穩(wěn)固的國(guó)內(nèi)客戶渠道，也能夠有效助力Compart Systems獲取市場(chǎng)份額，實(shí)現(xiàn)雙贏局面。戰(zhàn)略投資以后，富創(chuàng)精密將能夠形成沈陽(yáng)、南通、北京、新加坡、馬來(lái)西亞的5地協(xié)同體系，提高全球客戶覆蓋能力與響應(yīng)速度，同時(shí)降低自身供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)。
國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈企業(yè)正通過(guò)并購(gòu)向平臺(tái)化轉(zhuǎn)型
半導(dǎo)體零部件是一個(gè)門(mén)檻較高、強(qiáng)者恒強(qiáng)的賽道。國(guó)內(nèi)相關(guān)企業(yè)起步較晚，根基較淺，往往在某些單一領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破，而在全產(chǎn)業(yè)鏈條上的布局與產(chǎn)品線豐富程度上，與經(jīng)營(yíng)許久的國(guó)際一線供應(yīng)商相比存在較大差距。盡管龐大的國(guó)內(nèi)需求能夠有效促進(jìn)企業(yè)加快投資實(shí)現(xiàn)快速發(fā)展，但落實(shí)到具體操作上，仍不可避免遇到諸如美日企業(yè)先發(fā)優(yōu)勢(shì)、專利占位，客戶導(dǎo)入周期過(guò)長(zhǎng)、新進(jìn)入者難以打開(kāi)局面而錯(cuò)失窗口期等種種阻礙。
因此，近年來(lái)中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)在全球化布局、國(guó)內(nèi)市場(chǎng)催化以及技術(shù)升級(jí)驅(qū)動(dòng)下，完成了多起具有戰(zhàn)略意義的跨境收購(gòu)。例如聞泰科技于2019年完成對(duì)荷蘭安世半導(dǎo)體收購(gòu)，從而快速構(gòu)建起自主IDM模式，借助安世全球Tier1客戶布局與產(chǎn)能，2022年便實(shí)現(xiàn)車載芯片出貨量超100億顆，實(shí)現(xiàn)業(yè)務(wù)快速擴(kuò)張。韋爾股份于2019年也完成對(duì)美國(guó)豪威科技的并購(gòu)，從而獲取智能手機(jī)、車載CIS核心技術(shù)與產(chǎn)能，在相關(guān)客戶遭遇美國(guó)出口限制時(shí)，有力保障了其供應(yīng)鏈穩(wěn)定
此次富創(chuàng)精密戰(zhàn)略投資Compart Systems也頗有這種“資本換時(shí)間、擴(kuò)產(chǎn)換空間”意味。一方面，成功整合行業(yè)先進(jìn)資源，能夠有效縮短富創(chuàng)同類產(chǎn)品研發(fā)周期約5年左右，使其產(chǎn)品能夠快速對(duì)標(biāo)客戶最新一代設(shè)備需求，另一方面，其通過(guò)Compart Systems與國(guó)際客戶的現(xiàn)有供應(yīng)關(guān)系，也可以使富創(chuàng)產(chǎn)品大大壓縮認(rèn)證周期，從而在目前先進(jìn)制程產(chǎn)能集中落地、設(shè)備大量量產(chǎn)的有利窗口期搶占市場(chǎng)份額。此外，戰(zhàn)略投資以后，富創(chuàng)在國(guó)內(nèi)與東南亞的分區(qū)布局也將有助于公司國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的開(kāi)拓。而對(duì)于富創(chuàng)精密未來(lái)發(fā)展，此次戰(zhàn)略投資意義或許更加重大。
富創(chuàng)精密是一家典型的“時(shí)代企業(yè)”：其取得今天的成績(jī)，成為半導(dǎo)體零部件行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)，不可忽視的一個(gè)原因在于企業(yè)成長(zhǎng)的初期，富創(chuàng)精密幾乎占據(jù)了所有的先發(fā)優(yōu)勢(shì)和有利地形：在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈重構(gòu)、國(guó)際經(jīng)濟(jì)中心東移的大趨勢(shì)中，富創(chuàng)不僅抓住了東亞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起的時(shí)代機(jī)遇，也把握住了中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逆勢(shì)崛起的需求。富創(chuàng)精密董事長(zhǎng)鄭廣文將富創(chuàng)的未來(lái)之路歸納為“新四化”，即“國(guó)際化、智能化、精益化、綠色化”，而戰(zhàn)略投資Compart Systems則是實(shí)現(xiàn)這四大目標(biāo)的關(guān)鍵舉措，未來(lái)仍將堅(jiān)持自主發(fā)展+資源整合并重的發(fā)展思路。
通過(guò)這次戰(zhàn)略投資，富創(chuàng)精密將能夠補(bǔ)齊氣體傳輸系統(tǒng)最后一塊拼圖，形成“金屬工藝結(jié)構(gòu)件+模組+氣體系統(tǒng)”的全產(chǎn)品矩陣，可覆蓋設(shè)備成本的約85%。在業(yè)務(wù)發(fā)展上，由OEM向產(chǎn)品躍進(jìn)，產(chǎn)品邁向平臺(tái)化，有效提升了客單價(jià)。同時(shí)，以此為契機(jī)，富創(chuàng)精密將啟動(dòng)產(chǎn)能全球化舉措，首選在東南亞布局海外產(chǎn)能，未來(lái)還將完成更多并購(gòu)，補(bǔ)強(qiáng)技術(shù)短板，與國(guó)內(nèi)工廠協(xié)同形成產(chǎn)能矩陣，實(shí)現(xiàn)全球布局、產(chǎn)能出海，營(yíng)收并重局面。
此外，富創(chuàng)也在規(guī)劃更多戰(zhàn)略舉措，如在管理上，富創(chuàng)精密也在規(guī)劃模式創(chuàng)新與管理創(chuàng)新：結(jié)合Compart Systems和富創(chuàng)的技術(shù)與工藝，將達(dá)成1+1＞2的效果，助推富創(chuàng)攻克更先進(jìn)工藝配套技術(shù)，助力富創(chuàng)孵化下一代材料與工藝技術(shù)。公司資源與政策將向創(chuàng)造力傾斜，更堅(jiān)定地執(zhí)行智能制造戰(zhàn)略與平臺(tái)化、標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)。
國(guó)產(chǎn)替代浪潮下的戰(zhàn)略啟示
富創(chuàng)精密戰(zhàn)略投資Compart Systems背后，恰逢中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在面臨三大轉(zhuǎn)折點(diǎn)：
圖示：中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正面臨三大轉(zhuǎn)折點(diǎn) 來(lái)源：CINNO Research整理
1、政策窗口：國(guó)家大基金三期的1,500億元重點(diǎn)投向了設(shè)備零部件領(lǐng)域，其中氣體傳輸系統(tǒng)更是被列入“工業(yè)強(qiáng)基工程”的十大攻堅(jiān)領(lǐng)域。而此次整合直接對(duì)應(yīng)了《中國(guó)制造2025》中“突破高純工藝關(guān)鍵零部件”的目標(biāo)。
2、需求爆發(fā)：國(guó)內(nèi)長(zhǎng)江存儲(chǔ)二期、中芯深圳等12個(gè)新建晶圓廠，總投資超3,000億元，其中替代進(jìn)口比例要求從10%提升至40%。晶圓廠投資帶動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備需求，而半導(dǎo)體設(shè)備銷售額持續(xù)增長(zhǎng)帶動(dòng)零部件規(guī)模上升。
3、技術(shù)拐點(diǎn)：隨著NAND堆疊層數(shù)突破200層，目前全球幾大閃存廠均在開(kāi)發(fā)400+層技術(shù)，3D結(jié)構(gòu)對(duì)氣體控制精度要求較過(guò)去提升10倍有余，技術(shù)的升級(jí)對(duì)設(shè)備及零部件的迭代和工藝提出了更高的要求。
通過(guò)此次戰(zhàn)略投資，富創(chuàng)精密不僅獲得了進(jìn)入先進(jìn)工藝供應(yīng)鏈的入場(chǎng)券，幫助其實(shí)現(xiàn)構(gòu)建“材料-零件-系統(tǒng)-服務(wù)”完整利潤(rùn)鏈條，也驗(yàn)證了“橫向技術(shù)整合+縱向產(chǎn)業(yè)鏈延伸”的平臺(tái)化路徑。預(yù)計(jì)到2027年，雙方的協(xié)同效應(yīng)將推動(dòng)富創(chuàng)精密在氣體傳輸領(lǐng)域市占率大幅提升，有望成為中國(guó)首家進(jìn)入全球半導(dǎo)體零部件TOP10的企業(yè)。而這種以資本杠桿撬動(dòng)產(chǎn)業(yè)資源、產(chǎn)能擴(kuò)張重構(gòu)市場(chǎng)邊界的打法，也正是當(dāng)下中國(guó)制造企業(yè)突破“中等技術(shù)陷阱”的破局之道。富創(chuàng)精密用這次投資交出了自己的產(chǎn)業(yè)升級(jí)答卷：既要手握核心技術(shù)，更要善用資源整合。
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